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Resumen:
La evolución de la tecnología planar de circuitos integrados durante las últimas décadas ha estado prácticamente basada en un proceso de miniaturización de las máscaras fotolitográficas, permitiendo alcanzar en la actualidad una resolución de decimas de micra La evolución de la tecnología planar de circuitos integrados durante las últimas décadas ha estado prácticamente basada en un proceso de miniaturización de las máscaras fotolitográficas, permitiendo alcanzar en la actualidad una resolución de decimas de micra o incluso de decimas de nano y la consiguiente realización de circuitos que incorporan millones de transistores en una superficie de cristal de silicio del orden de dos centímetros cuadrados. El aumento de la complejidad de los circuitos que conlleva esta tecnología es el motor que ha permitido integrar de forma acelerada, y con la previsión de mantener este crecimiento durante los próximos años, circuitos con funciones más complejas y características más relevantes, especialmente la velocidad.[+][-]